PIEZOSYSTEM 压电反射镜定位器-测量

PIEZOSYSTEM 压电反射镜定位器-测量 

压电反射镜定位器 PSH 35 是PIEZOSYSTEM品牌下设计的一款用于小型反射镜动态运动的装置。它具有以下特点：

35 mrad 倾斜范围：PSH 35 具备较大的倾斜范围，可以实现反射镜在垂直方向上的倾斜运动。

高谐振频率：该设备具有高谐振频率，意味着它可以快速响应指令并实现精确的定位运动。

微弧度级别分辨率：PSH 35 提供微弧度级别的分辨率，能够实现非常精细的位置控制。

设计紧凑：该装置体积小巧，易于集成到复杂的平台中，适用于有限空间或需要高度集成的应用场景。

35 mrad 倾斜范围

高谐振频率

微弧度级别分辨率

设计紧凑

压电反射镜定位器 PSH 35 是为小型反射镜的动态运动而开发的。体积小巧，它可以很容易地集成到更复杂的平台中。

在PIEZOSYSTEM品牌中，同一系列的不同型号之间，主要差别在于行程，以及行程不同引起的精度差异 

PZ 250 CAP WL专为直径达12英寸的半导体晶片的精确定位而开发。致动器在Z方向上提供250 μm的运动行程。可以

实现纳米级的精度。可以长期稳定地保持特定的位置。由于其高硬度，PZ 250盖WL可以承载高达3公斤的负荷。

运动范围达 700 微米

高精度、快速响应，适用于大质量样品

可适用于动态应用

PIEZOSYSTEM成立于1991年，为半导体、航空航天、显微镜和同步加速器行业提供压电微定位、压电纳米定位和计

量解决方案。

主营产品有：压电陶瓷环、线性促动器、两轴位移台、三轴位移台、五轴位移台、偏摆台等

PIEZOSYSTEM  X轴位移台-测量